電子級硫酸,又稱高純硫酸和超純硫酸,是微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑。主要用于硅晶片的清洗和蝕刻,能有效去除晶片上的雜質顆粒、無機殘留物和碳沉積物。電子級硫酸的純度和清潔度對電子元件的成品率、電氣性能和可靠性有重要影響。
在純度方面,與普通化學品相比,電子級和分析純化學品純度高,雜質含量低,但兩者屬于不同的標準體系,對雜質的重視程度不同。電子級是電子元件生產過程中使用的化學品的一般指標。與一般行業相比,其純度要求更高,特別是平板顯示行業或半導體行業。每種化學品的有害雜質含量、金屬離子、固體顆粒等。半導體行業使用的電子品的純度一般高于分析純化學試劑,可參考SEMI相關化學品的標準。一般來說,芯片生產過程的純度會在99.99912寸芯片的生產可用于%數量級99.999999999%純化學品。分析純度是化學試劑的純度標準,包括優質純度、分析純度、化學純度和實驗純度。純干擾雜質分析很少,適用于滴定等工業分析和化學實驗。
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