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    電子級硫酸也是復雜芯片生產過程中不可缺少的試劑!

    時間:2022-04-24 瀏覽:99次
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      電子級硫酸也是復雜芯片生產過程中不可缺少的試劑。

      硅片在加工過程中經常被不同的雜質污染。硅片上的不溶性固體顆?;蚪饘匐x子可能在微電路之間導電并短路。鈉、鈣等堿金屬雜質也會融入氧化膜中,導致絕緣電壓下降。硼、磷、砷等雜質離子會影響擴散劑的擴散效果,粉塵顆粒會導致光刻缺陷、氧化層不均勻、制版質量和等離子蝕刻工藝。

      為了獲得高質量的集成電路芯片,必須去除各種污垢,這需要使用非常純化學試劑來清潔硅片。電子級硫酸和過氧化氫可以按比例形成強氧化劑SPM清洗液氧化有機物CO2和H2O。也可用于光刻過程中的濕蝕刻去膠,通過化學反應從硅片表面去除固體物質,導致固體表面完全或局部溶解。

      電子級硫酸在這里的作用是消除晶圓上的各種雜質,因此不能作為污染源引入雜質,因此該過程對電子級硫酸本身的純度也有很高的要求。1975年,美國國際半導體設備與材料協會首先,制定了支持微電子工業的統一標準(SEMI標準);1978年,德國默克公司也制定了MOS標準。這兩個標準側重于電子化學品中金屬雜質和顆粒(灰塵)的要求,分別適用于不同級別IC生產要求。

      E-Scan系列電子級電子級硫酸在線分析儀采用臨界角檢測原理,檢測不受材料顏色、濁度、氣泡、固體顆粒等雜質的影響,具有高精度的自動溫度補償功能。采用優良的分體式,全屏蔽抗干擾設計,直接轉換光電信號。放棄了集成不耐振動和高溫的缺點,保證了在線測量的精度,延長了儀器的使用壽命。內置光纖光路傳導系統具有優異的抗震性能和高穩定性,內置溫度傳感器和干燥劑有效監測糖度計的運行狀態。


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